Список вопросов к экзамену по микроэлектронике

1.  Классификация ИС

2.  Подложки ИС. Очистка подложек

3.  Термическое окисление кремния

4.  Вакуумное термическое напыление

5.  Ионно-плазменное напыление

6.  Автоэпитаксия кремния

7.  Термическая диффузия примесей

8.  Ионная имплантация примесей

9.  Получение толстых пленок

10.  Формообразование: фотолитография

11.  Формирование конфигурации элементов с помощью свободных масок

12.  Жидкостное травление

13.  Ионно-плазменное и плазмохимическое травление

14.  Конструкции и принцип действия БТ

15.  Характеристики БТ

16.  Ключ на БТ

17.  ЭСЛ-ИС

18.  Технологический маршрут изготовления ИМС на БТ

19.  Конструкции и принцип действия МОПТ с индуцированным каналом

20.  Конструкции и принцип действия МОПТ с встроенным каналом

21.  Характеристики МОПТ

22.  Логические элементы nМОП-ИС

23.  Логические элементы КМОП-ИС

24.  Ключ на nМОП-ИС

25.  Инвертор на КМОП-ИС

26.  ТТЛ-ИС

27.  Усилитель на МОПТ

28.  Проектирование топологии ИС на КМОП

29.  Технологический маршрут изготовления ИМС на nМОПТ

30.  Технологический маршрут изготовления ИМС на КМОП

31.  Способы изоляции элементов ИМС

32.  Резисторы ИПС

33.  Конденсаторы ИПС

34.  Диоды ИПС